반도체 팹 유틸리티의 모듈 랙 설치구조 및 그 시공방법
KR101899515B1 - 반도체 팹 유틸리티의 모듈 랙 설치구조 및 그 시공방법 - Google Patents (출처: 구글 Patent & KR101899515B1) 본 발명은 반도체 공장의 메인 팹에 설치된 각 생산라인을 지원하기 위한 팹 유틸리티와 관련되는 것으로서, 보다 구체적으로는 배관, 덕트, 철골 등을 구조를 모듈화한 랙을 미리 제작한 후 현장에서는 이들 랙을 조립하는 것만으로 시공을 완료시킬 수 있도록 하는 모듈 랙의 설치구조 및 그 설치방법에 관한 것이다. 반도체의 제조는 기본적으로 웨이퍼공정, 산화공정, 포토공정, 삭각공정, 박막공정, 배선공정, EDS공정, 패키징 공정으로 이루어지며, 이들 각 공정을 지원하기 위한 배관, 전선, 덕트 등의 다양한 유틸리티가 배치된다. 따라서 이들 ..
2020. 12. 13.
